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鐳測科技“雙折射雙頻激光器及干涉儀的關鍵和全鏈條技術”入選2022中國十大光學產業技術
發布時間:2023-01-30瀏覽次數:573


     激光干涉儀是當今納米時代的長度基準,也是先進制造業(機床、光刻機,航空、航天等)制造精度的保證。激光干涉儀的“激光”是HeNe激光器。鐳測科技研究成了“可伐-玻璃組裝式”結構的HeNe激光器,打破了我國靠玻璃吹制HeNe激光器的歷史。這一長期堅持的研究打通了單頻氦氖激光器→雙折射雙頻激光器→雙頻激光干涉儀的全技術鏈條,批產,獲得了廣泛認可。雙頻激光器和干涉儀已在北京鐳測科技有限公司批產,并在國內外得到廣泛應用。

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    雙折射雙頻激光器不僅用于國產雙頻激光干涉儀,也用于運行中的光刻機的年度替換。同時,提供了科研單位的科學研究。該激光器替換進口正在服役的光刻機的原有激光器,使光刻機機臺誤差由24 nm下降到6 nm。中國計量科學院測試表明,此雙頻激光干涉儀測量70 m長度誤差小于5 μm,非線性誤差小于1 nm。

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來源:光電匯OESHOW    https://mp.weixin.qq.com/s/N6JePRN_Uz-oDtxX0GfNRw

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