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數控機床校準

激光干涉儀用于角度測量
發布時間:2019-02-19瀏覽次數:1796

1、角度測量原理

      角度測量需要角度干涉鏡和角度反射鏡,并且角度反射鏡和角度干涉鏡必須有一個相對旋轉。相對旋轉后,會導致角度測量的兩束光的光程差發生變化,而光程差的變化會被激光干涉儀探測器探測出來,由軟件將線性位置的變化轉換為角度的變化顯示出來。激光干涉儀角度鏡能實現±10°以內的角度精密測量。

角度_副本_副本_副本.jpg


2、角度測量用組件

      角度測量需要角度干涉鏡和角度反射鏡,并且角度反射鏡和角度干涉鏡必須有一個相對旋轉。相對旋轉后,會導致角度測量的兩束光的光程差發生變化,而光程差的變化會被激光干涉儀探測器探測出來,由軟件將線性位置的變化轉換為角度的變化顯示出來。激光干涉儀角度鏡能實現±10°以內的角度精密測量。

      角度測量用到的激光干涉儀組件:

      激光干涉儀測頭、角度測量光學鏡組、Leice Measure測量軟件、Leice Analysis 分析軟件。

3、角度測量應用

     三坐標測量機校準

     傾斜工作臺 / 準直平臺測量(切片機/校正機等)

     XY工作臺的俯仰和扭擺評估(印刷電路板鉆床、LCD校正機等)


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